
激光测距传感器是利用激光对目标的距离进行准确测定的传感器,其工作原理主要基于激光的特性(方向性强、单色性好、能量集中)和不同的测距方法,常见原理包括以下几类:
一、飞行时间法(ToF,Time of Flight)
核心原理
通过测量激光从发射到经目标反射后被接收的时间差,计算目标距离。公式为:
距离 = (光速 × 飞行时间)/ 2(除以 2 是因为激光需往返目标)。
细分类型
脉冲 ToF(Pulsed ToF)
工作方式:发射短脉冲激光(纳秒级),接收端检测反射脉冲,通过时间戳计算飞行时间。
特点:适用于远距离测量(可达数千米),抗环境光干扰能力强,但精度受时间测量分辨率限制(通常 ±10cm~±1m)。
应用:车载激光雷达(如 Velodyne)、无人机避障、建筑测绘。
相位偏移法(Phase Shift ToF)
工作方式:发射连续调制的激光(如正弦波调制),通过测量发射光与反射光的相位差计算距离。
公式:
距离 = (光速 × 相位差)/(4π× 调制频率)
特点:精度高(可达 ±1mm),但测量范围较脉冲 ToF 短(通常 < 100 米),适合中短距离精密测量。
应用:手机 LiDAR(如 iPhone Pro)、扫地机器人测距、工业零件尺寸检测。
二、三角测量法(Triangulation)
核心原理
利用几何三角关系计算距离:激光发射器以固定角度发射光束,目标反射光被接收器(如 CCD/CMOS)接收,根据光斑在接收器上的位置变化计算距离。
工作流程
激光发射器发射一束激光,照射到目标物体上形成光斑;
接收器与发射器呈固定夹角,接收反射光斑;
根据光斑在接收器上的位置(如像素坐标),通过三角几何关系计算距离:
距离 = 基线长度 × 焦距 / 光斑偏移量
(基线长度为发射器与接收器的间距,焦距为接收器镜头焦距)。
特点与应用
精度:可达微米级(±1μm~±100μm),但测量范围较近(通常 < 1 米),适用于近距离精密检测。
场景:工业零件表面轮廓扫描、PCB 板翘曲度测量、3D 打印层厚监测。
三、干涉测量法(Interferometry)
核心原理
利用激光的相干性,通过发射光与参考光的干涉条纹变化计算距离,属于纳米级精度的测量方法。
细分技术
迈克尔逊干涉法
原理:激光束被分光镜分为两束,一束经目标反射(测量臂),另一束经固定反射镜反射(参考臂),两束光干涉形成条纹,根据条纹移动量计算距离变化。
应用:半导体晶圆厚度测量、光学元件表面平整度检测。
白光干涉法
原理:利用白光光源的低相干性,仅当测量臂与参考臂光程差接近零时才产生清晰干涉条纹,通过扫描光程差确定目标位置。
特点:适合粗糙表面或多层结构测量,精度达纳米级(±1nm)。
应用:MEMS 器件表面形貌分析、磁头滑块高度测量。
四、光谱共焦法(Chromatic Confocal)
核心原理
利用不同波长激光在透镜中焦距不同的特性,通过光谱分析确定目标距离:
白光(多波长激光)经物镜聚焦,不同波长光在不同深度聚焦;
目标反射光经同一物镜返回,通过光谱仪分析反射光的波长,确定聚焦点位置(即距离)。
特点与应用
精度:亚微米级(±0.1μm~±1μm),适合测量透明或反光表面(如玻璃、金属)。
场景:锂电池极片厚度检测、手机屏幕玻璃曲率测量、生物细胞尺寸监测。
五、调频连续波法(FMCW,Frequency Modulated Continuous Wave)
核心原理
发射频率随时间线性变化的连续激光(调频波),通过测量发射波与反射波的频率差计算距离:
频率差与飞行时间成正比,结合调频斜率可换算为距离。
特点与应用
优势:兼具 ToF 的远距离(千米级)和相位法的高精度(±1cm),抗干扰能力强。
场景:航空航天测距(如卫星激光测高)、高端工业雷达、自动驾驶(未来固态激光雷达的发展方向)。
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