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激光传感器按测量方式分类有哪些?
发布时间:2025-07-08 17:18:15
来源:工业
浏览数量: 1001

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按测量方式分类,激光传感器可分为以下几大核心类型,不同类型的技术原理、适用场景及特点差异显著,以下是详细解析:

一、接触式与非接触式激光传感器

1. 非接触式激光传感器(主流类型)

利用激光的光学特性实现远距离测量,无需物理接触目标,避免对被测物体造成损伤,适用于动态、高温、易损等场景。


典型应用:工业零件尺寸检测、自动驾驶激光雷达、大气污染物监测等。

2. 接触式激光传感器(罕见)

通过激光辅助机械探针实现测量(如激光触发式测头),但本质仍依赖物理接触,目前应用较少,主要用于特殊精密加工场景。

二、基于光学原理的测量方式分类

1. 飞行时间(ToF)测量型

原理:发射激光脉冲,测量光从发射到反射回传感器的时间差(Δt),通过公式 d= 2c×Δt 计算距离(c 为光速)。

特点:

测量范围广(从几厘米到数公里),如车载激光雷达可达 200 米以上;

精度受时间测量精度影响,高端 ToF 传感器时间分辨率达皮秒级(对应距离精度 ±0.15mm);

易受环境光干扰(如太阳光),需搭配滤光片或脉冲编码技术。

应用:扫地机器人避障、地形测绘、物流包裹体积测量。

2. 三角测量型(光学三角法)

原理:激光发射端以固定角度照射目标,反射光经透镜聚焦到光电探测器(如 CCD/CMOS)上,通过光斑位置变化计算距离(基于三角形相似原理)。

特点:

短距离高精度(典型范围 0.1mm~10m,精度 ±0.1μm~±1mm);

测量范围与精度成反比(距离越近精度越高);

对被测物体表面反射率敏感(深色表面易导致信号减弱)。

应用:半导体晶圆厚度检测、3D 打印层厚监控、手机摄像头自动对焦。

3. 干涉测量型(激光干涉法)

原理:利用激光的相干性,将发射光与反射光叠加产生干涉条纹,通过条纹变化计算位移(如迈克尔逊干涉仪原理)。

特点:

纳米级超高精度(如 ±0.1nm),是目前精度最高的激光测量方式;

测量范围通常较小(数毫米至数十厘米);

对环境振动、温度变化敏感,需在恒温隔振环境下使用。

应用:光刻机工件台定位、精密机械导轨直线度检测、光纤熔接损耗测量。

4. 衍射测量型(激光衍射法)

原理:激光照射到被测物体边缘或缝隙时产生衍射现象,通过分析衍射图案(如夫琅禾费衍射条纹)计算尺寸。

特点:

非接触测量,适用于微小尺寸(如 0.1μm~1mm)检测;

精度可达 ±0.1μm,适合测量细丝、狭缝宽度等;

对被测物体边缘形状要求高(需规则几何轮廓)。

应用:电子元器件引脚间距检测、纺织纤维直径测量、刀片刃口磨损监测。

5. 多普勒效应测量型(激光多普勒法)

原理:当激光照射运动物体时,反射光频率因多普勒效应发生偏移(f d = λ2vcosθ,v 为速度,θ 为入射角度,λ 为波长),通过频率差计算速度。

特点:

非接触测量动态速度,响应时间<1ms;

精度可达 ±0.1%(如测量 10m/s 速度时误差 ±0.01m/s);

需目标物体具有一定反光性,且运动方向需与激光束有夹角。

应用:交通测速雷达、工业传送带速度监测、血流速度检测(医疗领域)。

三、基于光谱分析的测量方式分类

1. 激光吸收光谱测量型(如 TDLAS)

原理:利用特定波长激光被目标气体分子选择性吸收的特性(如 CO₂在 1572nm 处的吸收峰),通过朗伯 - 比尔定律( I=I 0 e −αCL ,α 为吸收系数,C 为浓度,L 为光程)计算气体浓度。

特点:

ppm~ppb 级高精度,可检测微量气体(如 CH₄、NO₂);

响应时间快(<1 秒),适用于实时监测;

需根据目标气体选择对应波长激光器(如 1653nm 用于 H₂O 检测)。

应用:环境空气质量监测、工业废气排放检测、天然气管道泄漏预警。

2. 激光诱导荧光(LIF)测量型

原理:用激光照射被测物质,使其激发并发射荧光,通过分析荧光光谱特性(如波长、强度)判断物质成分或浓度。

特点:

高灵敏度(检测限可达 μg/L 级),适用于痕量污染物检测;

可区分不同物质的荧光特性(如区分石油类与藻类荧光);

受背景光干扰较大,需搭配窄带滤光片。

应用:水体油污染监测、生物荧光标记检测、食品中农药残留快速筛查。

四、三维扫描与点云测量型(激光雷达 / LiDAR)

原理:通过发射多束激光(如 16 线、64 线、128 线)并接收反射信号,构建目标物体的三维点云模型,结合扫描角度计算空间坐(X,Y,Z)。

特点:

可实时生成环境三维地图,角分辨率达 0.1°~1°;

测量范围从数米到数百米(如车载 LiDAR 典型范围 200 米);

固态激光雷达(如 MEMS、OPA)无机械旋转部件,可靠性更高。

应用:自动驾驶环境感知、智慧城市三维建模、林业植被覆盖率监测、考古遗址地形扫描。

五、复合测量方式(多原理融合)

类型:如 “ToF + 三角测量” 结合,兼顾长距离与高精度(近距离用三角法,远距离切换 ToF);“激光雷达 + 视觉相机” 融合,提升环境感知可靠性。

应用:高端服务机器人(如仓储 AGV),通过复合测量避免单一传感器缺陷(如激光雷达在玻璃墙前的误判,可通过视觉补偿)。

总结与选型建议

不同测量方式的激光传感器在精度、范围、成本和环境适应性上各有优劣,选型时需优先明确核心需求:


若需长距离动态测量(如自动驾驶),选 ToF 激光雷达;

若需纳米级静态精度(如半导体制造),选激光干涉仪;

若需气体成分分析,选 TDLAS 或 LIF 传感器;

复杂环境下可考虑复合测量方式,通过多原理融合提升可靠性。

此外,还需结合被测物体特性(反射率、运动状态)、环境干扰(光、振动、温度)及成本预算综合决策。